用于产线计量的原子力显微镜

先进封装

Park NX-Hybrid WLI是首个内置WLI轮廓测量的AFM，适用于半导体及相关制造的质量保证、半导体前端和后端的过程控制、先进封装和研发计量。它适用于需要在大面积上进行高吞吐量测量的用户，可以缩放到纳米级区域，具有亚纳米分辨率和超高精度。