Park FX300

Park FX300

프리미어 300mm 웨이퍼 분석의 새로운 기준, Park FX300

Park FX300는 연구용과 산업용의 경계를 허무는 혁신적인 원자현미경(AFM)으로, 원자 수준의 분석이 필요한 반도체 및 첨단 소재의 연구에 최적화되어 있습니다. 반도체 검사 분야의 다양한 요구를 충족할 수 있도록 특화된 기능을 갖추고 있으며, 팬 필터 유닛(FFU)이 선택 사양으로 제공되어 클린룸 환경에 최적화된 성능을 발휘합니다.

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연구와 산업 계측 모두에 이상적인 AFM 솔루션

실험실 환경을 제어하는 시설 컨트롤러, 긴급 차단 기능이 포함된 신호 타워, 팬 필터 유닛(FFU) 기반의 오염 제어 솔루션을 지원합니다.

  • 300 mm 웨이퍼 측정

    반도체 산업에서 사실표준으로 자리잡은 300 mm 웨이퍼까지 측정 가능하며, 나노 단위 적외선분광(Infrared Spectroscopy) 애플리케이션도 선택적으로 적용 가능합니다.

    300 mm 웨이퍼 측정

  • 기계적 구조 개선을 통한 정밀 측정

    향상된 구조와 SLD 빔 직경 11µm 소형 레이저 스폿을 통해 노이즈 플로어와 열 드리프트를 최소화하고, 높은 측정 정확도와 고해상도 이미징을 실현합니다.

    기계적 구조 개선을 통한 정밀 측정

  • 산업용에 특화된 애플리케이션

    시설 제어기, 비상 정지 장치가 포함된 신호 타워, 팬 필터 유닛(FFU)을 활용한 오염 제어 솔루션 등을 통합한 산업용 등급 설비 시스템이 탑재되어 있고, 레시피 기반의 반복 측정 지원을 지원합니다. 

    산업용에 특화된 애플리케이션

자동화 그 이상의 편리함

Park FX300는 자동 프로브 인식 및 교환, QR 코드 시스템을 통한 프로브 상태 확인, 머신러닝 기반 레이저 자동 정렬 등 혁신적인 기능으로 사용자 편이성을 극대화합니다. 최대 16개의 슬롯을 지원하는 자동 프로브 교체 기능을 통해 반복 측정과 모드 전환 시의 다운타운을 최소화합니다.

내장된 카메라와 QR 코드 시스템을 활용해 프로브 상태를 빠르고 정확하게 확인할 수 있습니다. QR 코드 인식을 바탕으로 프로브의 유형, 모델, 애플리케이션 및 사용 이력을 실시간으로 확인 가능합니다.

최대 16개의 슬롯을 지원하는 자동 프로브 교환 기능을 갖추고 있어 연속적인 측정 및 모드 변환이 가능합니다.

레이저 빔과 광 검출기를 정밀하게 정렬하여 설정 과정과 준비시간이 대폭 감소시킵니다. X, Y, Z 축을 자동으로 조정하여 왜곡 없는 정확한 이미지를 제공하기 때문에, 연구자들이 샘플 측정에만 집중할 수 있는 환경을 보장합니다.

레시피 기반의 자동 반복 측정

사전 정의된 좌표 설정을 통해 300mm 웨이퍼와 같은 대형 시료나 다중 샘플 척의 여러 시료를 자동으로 측정할 수 있습니다. 자동 측정은 형상 측정을 비롯한 원자현미경의 다양한 고급 옵션 모드를 순차적으로 실행하여 연구 및 산업 환경에서 작업 절차를 간소화합니다.

차세대 AFM 컨트롤러

Park FX 컨트롤러는 Park FX 제품군의 성능 향상을 위해 특별히 설계되었습니다. 이 새로운 컨트롤러는 추가 장비 없이 Contact Resonance Piezoresponse Force Microscopy(CR-PFM)과 같은 신규 측정 모드를 구현하게 되었으며, 사용자가 원자현미경의 최신 기술을 더욱 깊이 활용할 수 있도록 지원합니다.

controller image
  • 향상된 안전성 및 실시간 환경 모니터링
  • 탐침 바이어스 변조 대역폭이 증가된 CR-PFM의 직접적인 활성화
  • 빠른 데이터 및 이미지 처리를 위한 이더넷 연결 향상
  • 외부 증폭기 없이 활용 가능한 DFRT-PFM
FX40 with monitor

Park nano-IR Spectroscopy

나노 IR 분광법(PiFM)을 활용한 대형 샘플의 화학적 분석

Park nano-IR은 적외선분광법(IR Spectroscopy)과 원자현미경(AFM)을 통합한 시스템입니다. 적외선분광법 기능은 공간 해상도 5nm 이하에서 화학적 식별을 제공하며, 비접촉 방식을 통해 안전한 분광 스캐닝 방식과 업계 최고 수준의 공간 해상도를 보장합니다. 원자현미경 기능은 서브옹스트롬(Å) 단위의 높은 정확도로 나노미터 수준의 3D 표면형상 정보와 기계적 특성 정보를 제공하여, 사용자의 보다 정밀한 재료 분석을 지원합니다.