측정의 정확성, 최상의 해상도, 사용자 편리성.
파크시스템스는 정밀 나노 계측 분야 개발을 주도합니다.
웨비나, 교육영상 등 다양한 컨텐츠를 통해 원자현미경 기술을 배워보세요.
파크시스템스는 고객의 니즈에 맞는 맞춤 지원과 필수적인 서비스를 제공합니다.
Bringing Global SPM Experts Together to ShareCutting-edge AFM Research
파크시스템스는 글로벌 연구 및 엔지니어링을 위한 첨단계측장비로 나노 기술의 혁신을 실현합니다.
나노스케일 혁신이 매크로 투자 잠재력과 만나는 곳.
Park NX-Hybrid WLI는 반도체 및 관련 제조 품질 보증, 반도체 프런트엔드 공정 제어, 백엔드부터 첨단 패키징까지, R&D 계측을 위한 WLI 프로파일 측정 기능이 내장된 최초의 AFM입니다. 나노 이하의 해상도와 초고정확도를 갖춘 나노미터 규모의 영역까지 확대할 수 있는 넓은 영역에 걸쳐 높은 처리량 측정이 요구 되는 환경에 적합한 솔루션입니다.
Bringing White Light Interferometry into AFM for Semiconductor Metrology.