ParkナノIR (赤外分光法)
精密化学分析のためのAFM一体化ナノスケール赤外分光法
ParkナノIRは、ナノスケールの赤外（IR）分光法と原子間力顕微鏡（AFM）を一体化し、高度な化学および材料特性評価を実現します。業界をリードするPark AFMプラットフォームに最新の赤外分光法、光誘起力顕微鏡（PiFM）を組み込むことで、ナノスケール分析においてこれまでにない性能を提供します。
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最新のPark ナノIR (赤外分光法)
ParkナノIRは、従来の赤外分光法を超える空間分解能を実現すると同時に、一貫して高い分解能と測定精度を示します。ノンコンタクト方式を利用することで、サンプルの損傷、チップの汚染を防ぎ、信頼性の高い測定を発揮します。これにより、およそ10 nmの空間分解能と単分子膜スケールを高感度で測定することで赤外吸収スペクトルとケミカルマッピングの両方を、同時に行うことができる。サイドバンド技術を融合することで、ダイレクトドライブおよびサイドバンド検出法による深さ感度の高い測定技術により、微小スケールの分子結合の検出が可能になる。
効率性を追求したFXシリーズAFMシステムは、自動プローブ取り付けとIRレーザーアライメント機能を搭載しています。この合理化されたセットアップにより、測定準備が大幅に短縮され、ユーザー全体の利便性が向上します。
ParkナノIRは、高分解能のトポグラフィー、IRスペクトル、特定の波数におけるケミカルマップを同時に取得することで、材料の特性評価に総合的なアプローチを提供します。また、AFMによる機械的、電気的、熱的特性の測定も可能です。この総合的な機能は、半導体研究において特に有効です。このシステムは、ナノスケールでの精密な欠陥検出と材料組成の同定を可能にし、徹底した故障解析とデバイス特性評価をサポートします。
最先端のPiFMテクノロジー
PiFMのアプローチは、空間分解能、測定の信頼性、サンプルの損傷を防ぐ役割において、タッピングPTIR（光熱誘導共鳴）などの従来の方法を凌ぐノンコンタクト検出技術を利用しています。これによりデリケートなサンプルを保護しながら、より正確で整合性のある結果が得られます。ParkナノIRでは、ナノスケールの高分解能IRスペクトルとIR吸収スペクトルイメージを得ることができます。この機能により、複合材料の詳細な化学分析が可能になります。さらに、高分解能IRスペクトルは、従来のFTIR（フーリエ変換赤外分光法）と優れた相関性を示します。ダイレクトドライブやサイドバンド技術を含む高度な検出方法により、有益な材料情報を抽出することができます。
主要な特長と可能性
当社のFX200 IR、FX300 IR、FX300*システムで利用可能なパークナノIRは、以下を提供します：
- 小型ウェハーから300mmウェハーまで、多種多様なサンプル測定に対応
- 自動IRレーザービームアライメントによる合理化された測定セットアップ
- PiFMによる高精度IRスペクトル測定で、優れた空間分解能とFTIRとの高い相互性を提供
- 熱、電気、機械特性測定などの総合的な高度AFMアプリケーション
*FX300：ナノIRや長距離プロファイラ、回転ステージ、ファンフィルタユニットなどの産業用特殊アプリケーションをオプションモジュールとして追加可能